课程三：微纳光学制造技术

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微纳尺度光学广泛用于各个行业，比如通信、消费电子产品、太阳能、生物医学,传感器、激光辅助制造等方面。本课程将介绍微纳光学的制造技术，涉及到从折射微透镜到衍射光学到亚波长光学纳米结构的实际应用案例，理论背景和经验法则。

详细介绍和讨论了微纳光学制造的光刻和非光刻加工方法，技术原理，如何应用，并从制造业的技术能力和可扩展性两方面讨论了不同制造技术的相对优缺点。介绍和比较微纳光学性能和各种计量测试方法。最后讨论了微纳光学批量制造的问题和趋势，技术挑战和对制造基础设施的需求，制造微纳光学的可能性和局限性。