主办单位
中国国际光电博览会(CIOE中国光博会)
2026年,作为“十五五”规划的开局之年,也是我国半导体产业迈向自主可控、高端跃升的关键时期。激光技术与半导体制造的深度融合,不仅关乎单一工艺环节的优化,更关乎整个产业链的协同创新与竞争力重塑。目前,半导体产业正处于新一轮技术变革的关键节点。随着摩尔定律逐渐逼近物理极限,传统光刻与工艺微缩路径日益艰难,半导体制造正从“单纯追求线宽缩小”转向“功能集成与性能跃升”的多维创新。在这一转型过程中,激光技术凭借其非接触、高精度、低热损伤、材料适应性强等独特优势,正从半导体制造流程中的“辅助工具”跃升为“核心引擎”,深度赋能芯片制造的全链条。
在芯片制造前道环节,准分子激光退火、激光掺杂激活等技术已成为先进制程不可或缺的关键工艺,助力实现更低的电阻、更陡峭的结深与更优的器件性能。在晶圆检测与量测领域,超快激光与光学检测技术的融合,实现了纳米级缺陷的高通量识别,为良率提升提供了坚实保障。而在后道先进封装领域,激光技术的赋能作用尤为凸显。随着芯片从二维向三维堆叠演进,晶圆减薄、隐形切割、激光辅助键合、玻璃通孔(TGV)加工等激光微细加工技术,已成为实现高密度互连、低热预算与高可靠性的核心手段。激光技术正以其独特的精度与灵活性,支撑着Chiplet、异构集成等新兴封装架构的产业化落地。
本次“激光技术赋能半导体制造论坛”旨在汇聚国内外激光技术、半导体工艺、先进封装及智能装备领域的产业领袖与科研院所高校专家,共同探讨激光技术在半导体制造中的最新突破、应用挑战与未来方向。
| 时间 | 演讲题目 | 演讲嘉宾 |
|---|---|---|
| 主持人:待定 | ||
| 14:00-14:05 | 会议开场 | |
| 14:05-14:25 | 主题待定 | 郭春雨 深圳大学 教授 |
| 14:25-14:45 | 基于先进工业紫外激光的先进封装材料高通量微孔钻削技术 | 张红岩 Spectra-Physics – MKS 万机集团 高级激光应用工程师 |
| 14:45-15:05 | 主题待定 | 深圳市圭华智能科技有限公司 |
| 15:05-15:25 | 主题待定 | 胡明列 天津大学精密仪器与光电子工程学院 教授 |
| 15:25-15:45 | 主题待定 | 企业待定 |
| 15:45-16:05 | 主题待定 | 张昭宇 香港中文大学(深圳)教授 深圳半导体激光器重点实验室主任 |
| 16:05-16:25 | 主题待定 | 企业待定 |