主办单位
中国光学学会光学制造技术专业委员会
复旦大学上海超精密光学制造工程技术研究中心
中国国际光电博览会(CIOE中国光博会)
纳米压印技术自 1995 年诞生以来,凭借高分辨、低成本、高产能等优势,迅速成为学术界和产业界关注的焦点,被视为纳米光学的里程碑,更被美国麻省理工科技周刊评为 “将改变世界的十大新兴技术之一”,并被纳入国际半导体产业技术发展蓝图(ITRS)。
目前,纳米压印前沿技术不断涌现。佳能开发的纳米压印光刻设备,运用喷墨与照相技术,将树脂滴到半导体晶圆上,再用掩模压印制成电路,线宽可达 5 纳米甚至挑战 2 纳米,耗电量低、成本也更低,有望突破半导体制造瓶颈。模具制造技术也在不断革新。过去刚性模板精度高但仅适用于平面,如今弹性模量较高的 PDMS 材料制成的柔性模板,能贴合不同表面,解决了加工范围受限和脱模易脱落等问题。随着量子计算、生物医疗等领域发展,纳米压印技术也在拓展应用边界。
时间 | 演讲题目 | 演讲嘉宾 |
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主持人:冀然 青岛天仁微纳科技有限责任公司 董事长 | ||
14:00-14:05 | 会议开场 | |
14:05-14:25 | 主题待定 | 李祥明 西安交通大学 教授 |
14:25-14:45 | 主题待定 | 冀然 青岛天仁微纳科技有限责任公司 董事长 |
14:45-15:05 | 主题待定 | 汪洋 日本光驰(上海)分公司 研发中心主任 |
15:05-15:25 | 纳米压印光刻胶 | 吴思 中国科学技术大学 教授 |
15:25-15:45 | 主题待定 | 慕德微纳(杭州)科技有限公司 |
15:45-16:05 | 主题待定 | 璞璘科技(杭州)有限公司 |
16:05-16:25 | 前沿纳米压印工艺与技术 | Morphotonics/苏大维格/晶方科技 |
16:25-16:45 | 纳米压印模具制造工艺与精度控制 | 汇创达/昇印光电/欧光芯 |
单场票: 标准价¥600 / 早鸟价¥400
光学产业论坛通票价格¥1350 / 早鸟价¥1150
参加中国光博会同期报名的光学行业其他分论坛(仅限光学通票)
会议期间交流午餐名额
2025中国国际光电高峰论坛会议指南
2025中国光博会高峰论坛专属礼品
参会流程说明:
如5人及5人以上报名参会,请进入会议报名系统进行团体表单登记或前往下载中心填写2025听众团体申请表邮件发送给
Cafiar.Dai@cioe.cn
注意事项:
9月4日至展会期间报名系统不再接受修改参会人信息,请及时确认参会人信息。
现场遗失证件请携带本人名片联系工作人员处理。
展会期间网上报名仍然开放,欢迎大家使用线上报名方式,加快领取证件速度。
报名如需要开发票,请在系统填写开票需求及开票资料。