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纳米压印制造技术论坛
时间:2025-09-10
地点:1号馆二楼1C
语言:中文

主办单位

中国光学学会光学制造技术专业委员会

复旦大学上海超精密光学制造工程技术研究中心

中国国际光电博览会


纳米压印技术自 1995 年诞生以来,凭借高分辨、低成本、高产能等优势,迅速成为学术界和产业界关注的焦点,被视为纳米光学的里程碑,更被美国麻省理工科技周刊评为 “将改变世界的十大新兴技术之一”,并被纳入国际半导体产业技术发展蓝图(ITRS)。

目前,纳米压印前沿技术不断涌现。佳能开发的纳米压印光刻设备,运用喷墨与照相技术,将树脂滴到半导体晶圆上,再用掩模压印制成电路,线宽可达 5 纳米甚至挑战 2 纳米,耗电量低、成本也更低,有望突破半导体制造瓶颈。模具制造技术也在不断革新。过去刚性模板精度高但仅适用于平面,如今弹性模量较高的 PDMS 材料制成的柔性模板,能贴合不同表面,解决了加工范围受限和脱模易脱落等问题。随着量子计算、生物医疗等领域发展,纳米压印技术也在拓展应用边界。

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参会流程说明:
如5人及5人以上报名参会,请进入会议报名系统进行团体表单登记或前往下载中心填写2025听众团体申请表邮件发送给
Cafiar.Dai@cioe.cn

注意事项:
9月4日至展会期间报名系统不再接受修改参会人信息,请及时确认参会人信息。
现场遗失证件请携带本人名片联系工作人员处理。
展会期间网上报名仍然开放,欢迎大家使用线上报名方式,加快领取证件速度。
报名如需要开发票,请在系统填写开票需求及开票资料。

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