光学检测先进技术论坛
- 时间：2024-09-12
- 地点：1号馆二楼1A
- 语言：中文
主办单位
中国光学学会光学制造技术专业委员会
复旦大学上海超精密光学制造工程技术研究中心
中国国际光电博览会（CIOE中国光博会）
合作主办
北京理工大学
智能制造时代，光学检测在其中发挥着至关重要的作用。在工业制造过程中，光学检测保障了产品质量、精度和性能等方面的稳定性，为智能制造时代的来临奠定了基础。随着全球半导体产业产能的持续扩张，半导体设备的需求呈现出快速增长的趋势，从而推动了市场对检测和量测设备的需求。中国作为全球第一大半导体设备市场，对测试测量设备的依赖程度将持续增加。主流半导体制程正在向更小尺度发展，从28nm、14nm向10nm、7nm进步，部分先进半导体制造厂商已经实现了5nm工艺的量产并开始研发3nm工艺。三维FinFET晶体管、3D NAND等新技术也逐渐成为行业主流。
然而，随着工艺的不断进步，产品制程步骤增多，微观结构复杂化，生产成本呈指数级提升。为了获取更高的晶圆良品率，必须严格控制晶圆之间、同一晶圆上的工艺一致性。这无疑对质量控制的需求提出了更高的要求。未来，检测和量测设备需要在灵敏度、准确性、稳定性、吞吐量等关键指标上持续优化，以确保每道工艺均落在容许的工艺窗口内，从而保证整条生产线平稳连续的运行。这种需求推动了相关设备技术的不断创新和发展，同时也为质量控制领域带来了巨大的挑战和机遇。
