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纳米压印制造技术论坛
时间:2026-09-09
地点:5号馆二楼5B
语言:中文

主办单位

中国国际光电博览会(CIOE中国光博会)

清华大学

复旦大学上海超精密光学制造工程技术研究中心

纳米压印技术自1995年诞生以来,凭借高分辨、低成本、高产能等优势,迅速成为学术界和产业界关注的焦点,被视为纳米光学的里程碑。据TechNavio预测,2026年全球纳米压印市场规模有望达到33亿美元,展现出强劲的增长潜力。这一技术因其在分辨率、成本和三维成型方面的独特优势,被视为突破传统光刻物理极限的关键路径之一,尤其在存储芯片、AR/VR光波导和先进封装等特色工艺领域,已展现出不可替代的价值。


技术演进方面,核心指标持续刷新。近期开发出的先进纳米压印光刻模板,已可实现相当于1.4纳米逻辑半导体的图形化能力,这标志着该技术在面向最先进制程的探索中取得了关键进展。更值得关注的是,技术的“材料兼容性”正发生革命性变化。从传统的聚合物,到纳米粒子包埋树脂、溶胶-凝胶氧化物乃至量子点等光学功能材料,均可通过纳米压印技术实现高精度图案化。这极大地扩展了其在超透镜、全息显示、先进传感器等平面光学器件制造中的应用前景。


然而,要实现广泛的产业化应用,仍面临公认的技术瓶颈:高精度模板的制造、使用寿命与成本控制,以及在大面积压印过程中的缺陷(如残留层不均匀)控制。这些挑战涉及从精密加工、新材料开发到工艺控制的全链条,非单一环节能够解决,亟需产业链上下游协同创新。


2026年9月10日, “纳米压印制造技术论坛”将围绕面向未来制程的模板技术、新型压印材料与工艺、缺陷控制解决方案等议题展开深度探讨,共同推动纳米压印技术生态的成熟与产业应用边界的突破。

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