主办单位
中国国际光电博览会(CIOE中国光博会)
复旦大学上海超精密光学制造工程技术研究中心
清华大学精密仪器系
纳米压印技术自1995年诞生以来,凭借高分辨、低成本、高产能等优势,迅速成为学术界和产业界关注的焦点,被视为纳米光学的里程碑。据TechNavio预测,2026年全球纳米压印市场规模有望达到33亿美元,展现出强劲的增长潜力。这一技术因其在分辨率、成本和三维成型方面的独特优势,被视为突破传统光刻物理极限的关键路径之一,尤其在存储芯片、AR/VR光波导和先进封装等特色工艺领域,已展现出不可替代的价值。
技术演进方面,核心指标持续刷新。近期开发出的先进纳米压印光刻模板,已可实现相当于1.4纳米逻辑半导体的图形化能力,这标志着该技术在面向最先进制程的探索中取得了关键进展。更值得关注的是,技术的“材料兼容性”正发生革命性变化。从传统的聚合物,到纳米粒子包埋树脂、溶胶-凝胶氧化物乃至量子点等光学功能材料,均可通过纳米压印技术实现高精度图案化。这极大地扩展了其在超透镜、全息显示、先进传感器等平面光学器件制造中的应用前景。
然而,要实现广泛的产业化应用,仍面临公认的技术瓶颈:高精度模板的制造、使用寿命与成本控制,以及在大面积压印过程中的缺陷(如残留层不均匀)控制。这些挑战涉及从精密加工、新材料开发到工艺控制的全链条,非单一环节能够解决,亟需产业链上下游协同创新。
2026年9月10日, “纳米压印制造技术论坛”将围绕面向未来制程的模板技术、新型压印材料与工艺、缺陷控制解决方案等议题展开深度探讨,共同推动纳米压印技术生态的成熟与产业应用边界的突破。
| 时间 | 演讲题目 | 演讲嘉宾 |
|---|---|---|
| 主持人:吴思 中国科学技术大学 教授 | ||
| 13:30-13:35 | 会议开场 | |
| 13:35-13:55 | 主题待定 | 伯恩光学 |
| 13:55-14:15 | 大面积高精度纳米压印材料与工艺探索 | 程鑫 南方科技大学材料科学与工程系 教授 南方科技大学半导体学院(国家卓越工程师学院)执行院长 |
| 14:15-14:35 | 纳米压印光刻(NIL):从技术原理到半导体与光模块的前沿应用 | 王欣宇 璞璘科技(杭州)有限公司 产品总监/研发工程师 |
| 14:35-14:55 | 面向 AR 及未来应用的可规模化大面积纳米压印制造 | Jan Matthijs ter Meulen, CTO, Co-Founder at Morphotonics. |
| 14:55-15:15 | 纳米压印复合微纳结构的一体化制造与量产自动化 | 王涛 纳峰科技国际有限公司 业务拓展经理 |
| 15:15-15:35 | 纳米压印光刻胶:研究进展与突破 | 吴思 中国科学技术大学 教授 |
| 15:35-15:55 | 天仁微纳:纳米压印光刻 | 冀然 青岛天仁微纳科技有限责任公司 董事长 |
| 15:55-16:15 | 面向 AR 眼镜与超透镜规模化量产的纳米压印光刻技术 | 张琬皎 杭州欧光芯科技有限公司 CEO |
| 16:15-16:35 | 从模板到量产:打造全生态链的纳米压印制造平台 | 徐壮壮 苏州新维度微纳科技有限公司 市场总监 |
中国科学技术大学 教授
南方科技大学材料科学与工程系 教授
南方科技大学半导体学院(国家卓越工程师学院)执行院长
璞璘科技(杭州)有限公司 产品总监/研发工程师
CTO, Co-Founder at Morphotonics.
纳峰科技国际有限公司 业务拓展经理
青岛天仁微纳科技有限责任公司 董事长
杭州欧光芯科技有限公司 CEO